మహాశివరాత్రి రోజున సూర్యోదయానికి ముందు ఉదయం ఐదింటికి నిద్రలేచి.. తలస్నానము చేసి పూజామందిరము, ఇల్లు శుభ్రం చేయాలి. గడపకు పసుపు కుంకుమ, గుమ్మానికి తోరణాలు, పూజా మందిరమును రంగవల్లికలతో అలంకరించుకోవాలి.
తలస్నానము చేసి తెలుపు పట్టు వస్త్రాలను ధరించి పూజకు శివుడు ఫోటోను సిద్ధం చేసుకోవాలి. తెలుపు అక్షతలు, పువ్వులు మారేడు దళములు, నైవేద్యానికి పొంగలి, బూరెలు, జామకాయలు సిద్ధం చేసుకోవాలి.
సాయంత్రం ఆరు గంటల నుండి మరుసటి రోజు ఉదయం ఆరు గంటల వరకు పూజ చేయాలి. పూజకు ముందు శివఅష్టోత్తరము, శివ పంచాక్షరీ స్తోత్రం, శివ సహస్రనామమును పారాయణము చేయాలి.
ఇంకా శివరాత్రి రోజున శైవదేవాలయం దర్శించుకోవడం శుభఫలితాలనిస్తుంది. ఆలయాల్లో మహాన్యాస పూర్వక రుద్రాభిషేకం పూజలు నిర్వహించడం ద్వారా అనుకున్న కార్యాలు దిగ్విజయమవుతాయి.
దీపారాధనకు 5 ప్రమిదలు, 5+5 వత్తులు తీసుకోవాలి. పంచహారతికి ఆవునేతిని, దీపారాధనకు నువ్వులనూనె వాడాలి. నుదుట విభూది ధరించి, ఓం నమఃశివాయ అనే మంత్రాన్ని 108 మార్లు జపించి అనంతరం దీపారాధన చేయాలి. పూజచేసేటప్పుడు రుద్రాక్ష మాల ధరించి, పడమర వైపు కూర్చోవాలని పండితులు చెబుతున్నారు.